等離子清洗機(jī)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、涂覆、光刻膠灰化等目的。,大部分人可能會(huì)感覺(jué)很陌生。事實(shí)上,等通過(guò)對(duì)樣品表面進(jìn)行改性(親水性),同時(shí)除掉表面有機(jī)物,使多種材料之間能夠進(jìn)行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開(kāi)發(fā)到工藝生產(chǎn)使用,從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好,應(yīng)用廣泛。
等離子清洗機(jī)對(duì)金屬表面去油及清洗:金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來(lái)得到*潔凈和無(wú)氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果:
灰化表面有機(jī)層:因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。
--表面會(huì)受到物理轟擊和化學(xué)處理
--在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下,污染物部分蒸發(fā)
--污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空泵抽出
--紫外輻射破壞污染物
等離子清洗機(jī)氧化物去除:金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合氣體。有時(shí)也采用兩步處理工藝。先用氧氣氧化表面,再用氫氣和氬氣的混合氣體去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。
焊接,通常,印刷線路板(PCB)在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)采用等離子清洗機(jī)去除,否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。
鍵合,好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的,也需要進(jìn)行等離子清洗。