紫外臭氧清洗機具有干洗處理、無需真空處理、無破壞燈特長,紫外線燈和照射裝置的高輸出照射技術,實現(xiàn)了以往用溶劑或超聲波清洗液難以達到的高品質、高速處理效果。為客戶能制造出更高品質的產品而提供紫外線清洗和紫外線改質。
紫外臭氧清洗機的靈活性,能滿足有機分子去除和其他眾多領域的應用??梢灾苯釉诳諝庵胁僮鳎部赏ㄟ^兩個標準氣路中的一個接入氧氣,從而增加臭氧產量。PSD Pro系列紫外臭氧清洗機通過可編程數字控制器控制系統(tǒng)工作進程,來確保清洗時間和各項參數的準確性。是一種簡單,經濟,快速的材料表面清洗設備,只需把樣品放置到樣品盤上,關上艙門,設置時間,并按運行,就可以了,能快速去除大多數無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時,紫外清洗非常理想。
紫外臭氧清洗機產品特點:
1.UVO基礎型采用可編程數字控制器,設置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2.自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3.數字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
4.可隨時手動中斷處理過程。
5.自動記錄之前清洗參數設置。
6.樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
7.頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式,操作簡單方便。
8.上置式樣品臺設計,360度自由放置樣品,操作方便。
9.樣品臺高度可調,通過調節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
10.UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。
11.高強度UV燈源,波長185nm和254nm。
12.UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13.雙重安全保護,當清洗腔打開時,系統(tǒng)安全鎖會關掉UV燈,并有燈光通斷提示。
14.帶進&出氣口雙氣路設計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產量。
15.UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器,用于臭氧清除。
16.可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。